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        超高真空磁控濺射/原位應力測量/光電子和俄歇電子譜儀系統
    編號:
    LKBS0001
    品名:
    超高真空磁控濺射/原位應力測量/光電子和俄歇電子譜儀系統
    品牌:
    德國BESTEC公司和SPECS公司
    產地:
    德國
    類型:
    0
    質量:
    ISO
    包裝:
    0
    單位:
    單價:
    ¥.00
    發布:
    2008/7/29 15:43:15
    人氣:
    6370
    訂單:
    詳細介紹
    磁控濺射原理和應用及薄膜分析技術:
    濺射鍍膜是一種常見的薄膜/厚膜制備方法,可以制備金屬和絕緣體膜。不像蒸發鍍膜技術,被濺射出來的原材料不需要被加熱。最有特點的是,濺射鍍膜可以很方便地制備合金、金屬/絕緣體等復合多層膜。
        磁控濺射被廣泛應用于多層復合膜、微納電子學、防腐與耐磨涂層、團簇和納米材料、太陽能材料等領域,鍍膜層具有均勻、致密、附著力強等特點。它和我們日常生活中的產品也息息相關,譬如光盤,磁頭,通訊設備中的器件,鐘表,工藝美術,玩具,車燈反光罩以及儀器儀表等表面裝飾性鍍膜。
        在這個系統中我們還集成了一套對薄膜應力分布和成分結構進行分析的設備,主要包含用于應力分布測量的多束光學傳感器,用于成分分析的俄歇電子譜,和用于化學結構分析的X射線光電子譜。這些都是對薄膜分析的常用手段,并且集成在一個真空系統中實現原位分析,從而為科學家提供詳實可靠的實驗數據。這個系統還可以極其容易地升級成所謂的分布式真空系統,從而集成更多樣品制備技術,和更豐富的分析手段。
    超高真空磁控濺射/原位應力測量/光電子和俄歇電子譜儀系統為經濟而不失水準的技術方案,整個系統包括三個真空室:
    鍍膜室由德國Pfeiffer公司(國際著名真空泵制造商)1000 升/秒分子泵作為主真空泵,配套有無油前級泵。通過對真空室的烘烤(系統配有),我們可以保證鍍膜室的真空度可以進入10-9毫巴(即10-7帕斯卡)。
        用于光電子譜/俄歇譜分析的精密樣品可以液氮制冷和電阻絲加油前級泵。通過對真空室的烘烤(為美國k-SPACE 公司的多束光學傳感器)對薄膜樣品應力進行原位分析。
    分析室配備三種分析手段:
    第一是美國kSPACE公司的多束光學傳感器(Multi-beam Optical Sensor),是一套極其敏感的激光系統,可以沉積(CVD),濺射和分子束外延(MBE)等。其主要特點有:由于采用了激光束陣列同時測量,對震動免疫;可以使用單窗口或雙窗口方式安裝;典型率厚度測量;完整的數據采集和分析軟件包可以提供薄膜應力、襯底曲率、應力厚度積和均方差點間距等數據分析。
    第二為俄歇電子譜(AES)。第三為X射線光電子譜(XPS)。這兩種譜分析共用德國SPECS 公司為的Phoibos 100 型。它是世界上知名的分析室,半球型靜電電子能量分析器,絕對能量分辨率可以達到4.4 毫電子伏,最好空間分辨達到100 微米。Phoibos 100 產品包中還含有電源、控制和數據采集的電子線路(型號為HSA 3500),主控計算機和數據采集軟件包(SpecsLab),以及譜線解析軟件包(CasaXPS)。電源和數據采集電路具有非常高的電氣穩定性,提供多種能量范圍供用戶選擇。在這套配置中,提供0~3500伏能量范圍。
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